至纯科技：公司槽式设备订单占国内总量45%ICRD单片式设备已交付华虹

  集微网消息 近日，至纯科技接受调研时表示，客户最关心的是良率和效率，其次是供应商的性价比。目前能公司的槽式在批量出货，有一段时间存在供不应求的情况。在境外客户方面，至纯科技的团队在与客户的技术团队、人员有充分沟通，不需要认证，下单反而会比较快。

  2019年，至纯科技槽式的设备订单大概占国内的更新总量的45%，目前是以8寸的槽式为主，12寸为少数。槽式的酸槽24小时浸泡在高酸性、高浓度、高温的酸碱溶液中，有一定的常规使用的寿命。前期可能做部分零配件的表面处理就能够继续投入到正常的使用中，后期部分管道、零配件部分受到侵蚀，再进行回收处理的价值不大，还会最终影响到良率。不同的产品、型号的寿命不同，最终判断寿命的标准就是对良率的影响，如果对良率影响较大的话，就需要被替代，大概是4-6年左右。

  至纯科技表示，公司的槽式设备相比与国外产品更有优势，主要在于企业能根据客户要求进行工艺改进，更符合国内客户的真实需求，而这是国外供应商不愿意去跟动。

  关于竞争对手，至纯科技称主要是以国外的设备厂商为主，企业主要做的是增补国内空白的、新的工艺，甚至部分国外厂商也不具备的新的模块等。整体看来，公司觉得最大的竞争对手是自己，主要是资源的配置和研发投入等。

  随着制程越来越小，对良率和工艺要求的提升，槽式会受到限制，相应的单片清洗则有更大的发挥空间，特别是在12寸的产线上，会更多的应用单片式清洗设备。

  2019年上半年，至纯科技开始推进ICRD的单片项目，之前由于ICRD工艺有新的需求，至纯科技把设备跟动修改后再验证，前前后后用了一年的时间，目前已经现场交付给华虹，公司有信心及时确认收入。还有几个不同的型号在不同的客户端做验证，阶段性信息反馈都比较正面。

  在市场占比方面，至纯科技表示，需要按照工艺进行分类讨论：8寸的槽式设备替代的市场空间比较大，12寸对单片清理洗涤设施的需求比较大，特别是随着制程越来越精密，对良率、产能的要求提升，单片式设备的应用会比较多，最终会超过槽式的需求。

  关于未来的份额，至纯科技之前提过一个目标，五年内实现200台的出货量，目前是第三年，如果不考虑疫情，公司认为有信心完成，疫情影响了交付。但是至纯科技没改变目标，还在追赶进度。200台里面前期槽式会多一些，后期和客户沟通基础上，如果单片验证进展顺利，我们会加大对单片的生产力度。

  在湿法设备方面，至纯科技称，公司的技术储备能做到14nm以下的水平，如果国内有应用场景和认证平台的话，能够直接进行开发生产。

  目前，至纯科技的湿法设备以台湾为契机打开市场。至纯科技称，台湾客户的特点在于没有认证环节，只要制造团队的能力被承认，就可以直接下订单。公司的湿法技术团队有台湾的背景，因此公司在台湾有天然的优势。

  在湿法设备技术方向方面，至纯科技主要对标国际上的主流供应商，采用同为目前最先进的NENO SPRAY即滴喷技术。至纯科技认为，目前公司与国外竞争对手的差距主要在于市场占有率，公司作为行业的新进供应商，产品认证是必经之路，市场需要逐步打开。

  在清理洗涤设施需求量方面，至纯科技称，目前各个品牌和工艺没有一个可参考、可推广的模式。以40K的产能为例，国内一条线台的清理洗涤设施，但是海力士就要用到120台设备，长江存储用的密集堆砌技术，128层或者更高，清理洗涤设施相较64层会有翻倍需求。随着制程的精密，单片的清洗设备需求会慢慢的多。

  关于战略布局，至纯科技表示，公司目前的布局重心还在大陆，台湾地区属于一个突破口，当前的大环境是第三次的产业转移，产业链在从日韩转移到大陆，产业链的增量也是在中国大陆，所以我们重心也在国 内。紧紧抓住国产替代我们才可以顺势而上，把之后的成果做得更好。（校对/Lee）